真空爐設備參數(shù) 
加熱容器口徑：≤Φ350mm，不銹鋼管/石英管
工作方式：程序自動控制；采用1~3套加熱體，支持1~3個工位單獨/交替工作
工作溫度：（真空爐加熱容器）高溫不銹鋼管0-1000℃/石英管0-1300℃
恒溫區(qū)：300-1000mm，±2℃ /24h
真空極限：高真空5×10-4Pa /低真空4×10-2Pa
真空爐真空系統(tǒng)：機械泵/機械泵+K300擴散泵
真空爐閥門：Φ300氣動擋板閥為主閥和進口電磁閥
額定功率：47KW
真空計：電阻式壓力傳感器/復合式數(shù)字真空計
充氣種類：N2、Ar、H2
真空爐工作方式：自動或手動自由轉換  
真空爐壓力顯示：正壓、負壓均采用數(shù)字顯示表/電阻式壓力傳感器 
多個工位單獨/交替工作，行走X、Y方向
人機界面：觸摸屏/工控機